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平行平晶的用途特點

日期:2024-11-16 05:37
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摘要:
   平行平晶具有兩個(或一個)光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規(guī)。光學測量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面,它能夠產生光波干涉條紋(見激光測長技術)。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差,為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的,用于測量兩高光潔表面的平行度誤差,例如千分尺兩測量面的平行度誤。平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為45~150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03~0.05微米;2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。
  平行平晶是用于以干涉法測量塊規(guī),以及檢驗塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面、測量儀器及測平晶量工具量面的研合性和平面度的常用工具。適用于光學加工廠、廠礦企業(yè)計量室、精密加工車間、閥門密封面現(xiàn)場檢測使用,也適用于高等院校、科學研究等單位做平面度等檢測。


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